Marketwire 2012年3月7日美國馬薩諸塞州劍橋市消息/明通新聞專線/--

　　原子層淀積 (或原子層沉積) (ALD)科技與設備領域的全球領先企業Cambridge NanoTech完成了向中國山西煤炭化學研究所(ICC)交付第300套ALD設備的工作。這是Cambridge NanoTech的一個重大里程碑，對于需要對氧化物、氮化物、硫化物和金屬等不同物質的成膜進行數字化控制的研究人員和生產企業來說，Cambridge NanoTech的ALD設備已經成為一個重要的戰略解決方案。

　　山西煤炭化學研究所隸屬中國科學院(CAS)，是一家高科技研發機構。Savannah設備將成為供山西煤炭化學研究所各研發部門使用的首套ALD設備。山西煤炭化學研究所煤轉化國家重點實驗室教授秦勇博士(音譯)表示：“我們之所以選擇Savannah ALD設備，是因為我們發現該設備可以非常容易地獲得精確一致的薄膜，特別是在試驗新型前驅物質時更是如此。我們計劃將Savannah設備應用于工業催化應用中的納米催化劑原子層淀積。我們預計Savannah設備將成為我們實驗室的主力設備，能讓我們在極少維護甚至免維護的情況下進行熱處理流程。”山西煤炭化學研究所將進行二氧化鈦(TiO(2))、二氧化錫(SnO(2))、氧化礬(VO(x))、鉑(Pt)和釕(Ru)等不同物質的加工處理。

　　Cambridge NanoTech于九年前推出了首套Savannah ALD設備，之后，又把這種全球使用最廣泛的ALD設備擴展成了三種型號：S100型、S200型和S300型。作為ALD行業的領先企業，Cambridge NanoTech把其產品線拓展至包括面向研發領域的Fiji系列等離子體增強ALD設備和滿足大批量大面積生產需要的Phoenix系列和Tahiti系列設備。

　　Cambridge NanoTech首席執行官、創始人Jill Becker表示：“這項技術的廣泛采用、Savannah系列設備的普及以及ALD應用的增長有助于加快日常產品的轉化。世界各地的采用以及后來的數千篇研究論文表明，Savannah ALD設備已經成為熱ALD設備的黃金標準。我們的團隊對此次設備交付感到無比自豪，因為這充分證明了我們系統的實力、ALD的多用性以及市場對這項技術的需求。”

　　除了交付第300套設備的里程碑外，Cambridge NanoTech本月初還舉辦了第一場系列網絡研討會，題為《什么是原子層淀積和你為什么應當關注?》。第一場系列研討會重點圍繞ALD基礎知識，全球32個國家超過275人參與了此次研討會。Becker表示：“現代科技大大改變了我們分享信息的方式。我們非常榮幸能夠站在社交技術的最前沿，傳授原子層淀積知識，為人們提供材料科學解決方案所需要的工具。”Cambridge NanoTech今后將要舉辦的網絡研討會包括等離子ALD的優勢和自組裝單分子層的生長等。欲了解Cambridge NanoTech即將舉行的網絡研討會的更多信息，請訪問： www.cambridgenanotech.com/seminars 。

　　關于山西煤炭化學研究所

　　山西煤炭化學研究所(ICC)是中國科學院(CAS)下屬的高科技研究開發機構之一，主要從事能源環境、先進材料和綠色化工三大領域的基礎與應用研發。

　　關于Cambridge NanoTech

　　Cambridge NanoTech的原子層淀積(ALD)系統被廣泛應用于科研和工業應用中的超薄膜淀積。Cambridge NanoTech的面向制造業的ALD系統被用于半導體、平板顯示器和固態照明的生產。Cambridge NanoTech的面向研究的系統被世界一流科學家應用于研究ALD薄膜的優異特性，包括電氣、抗菌、防紫外線和增透等特性。欲了解有關Cambridge NanoTech的更多詳情，請訪問：www.cambridgenanotech.com 。

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