薄膜鋰充電電池一直以超薄、輕量和柔性的特點，成為超小型電子產品、機器人、微傳感器以及IC等的動力源。另外，該薄膜鋰充電電池是與鋰離子充電電池不同的全固體型，因此不會發生液體泄漏和爆炸等問題，可安全使用。愛發科開發出了生產擁有上述特點薄膜鋰充電電池的一條龍量產技術，并在12月1日舉行的記者招待會上發布。該公司在“SEMICON JAPAN 2008”（12月3日～5日，幕張Messe會展中心）上展示了有關技術。 

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薄膜鋰充電電池的結構

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薄膜鋰充電電池結構和目前重點開發的材料

關注環境領域 

　　愛發科是著名的半導體、平面顯示器（FPD）以及太陽能電池生產設備廠商?？梢哉f，該公司在面向SEMICON JAPAN舉行的記者招待會上發布電池技術表達了這樣一種期待：“今后環境相關的業務將有望增長”（愛發科董事長兼電子及尖端設備業務部部長小田木秀幸）。該公司提供名為總承包（Turn-Key）的太陽能電池一條龍生產線，并將其定位于重要位置：“除太陽能電池等發電技術外，把電力儲存起來以便隨時使用的電池技術也非常重要”（小田木秀幸）。 

　　薄膜鋰充電電池的市場方面，短期內該公司計劃將其用于無線標簽（RFID標簽）、智能卡以及植入人體的醫療設備等。該公司認為，如果搶在應小型化和薄膜化要求，還沒來得及開發的原充電電池之前上市薄膜鋰充電電池的話，其需求量將急劇增加。在招待會上，該公司引用某調查機構的預測：“4年后的2012年，年產量將達100億塊，市場規模將達1萬億日元”，強調了薄膜鋰充電電池市場的未來性。 

　　該公司設想的薄膜鋰充電電池用途遠不止這些。從長遠來看，還計劃用于MEMS IC等微電子和環保發電。環保發電指，將周圍環境中存在的熱（溫差）、振動和光等能源轉換成電力。也稱為“能量采集（Energy Harvesting）”，目前倍受技術人員關注。此前業界多以“不內置電池也可驅動電子元件”的概念來討論該技術，但此次愛發科的觀點是，“如果把由熱和振動等轉換而來的電力儲存起來，將更方便使用”。 

　　愛發科認為，薄膜鋰充電電池潛力無限?！叭绻荛_發出大面積的薄膜鋰電，也許還能成為電動汽車的動力源”（愛發科半導體技術研究所所長鄒弘綱）。 

確立濺鍍、蒸著、封裝及靶材的一條龍量產技術 

　　薄膜鋰充電電池由正極、負極、電極集電層、固體電解質層以及封裝層構成。此次，愛發科通過使用該公司的設備群和愛發科材料（ULVAC Materials）的靶材（Target），可完成上述全部結構的生產。正極、固體電解質層和電極集電層通過枚葉式濺鍍裝置（SME-200J）、負極通過真空蒸著裝置（ei-5）、封裝層通過枚葉式蒸著重合裝置（PME-200）生產。濺鍍靶材方面，分別開發出了正極用LiCoO2和固體電解質層用Li3PO4。 

　　愛發科表示，確立量產技術時最難的是濺鍍和封裝。作為與原濺鍍不同的開發課題，固體電解質層的成膜方面存在“形成非晶膜”、“實現Li3PO4和氮的反應性濺鍍”以及“通過等離子降低損害”等課題。正極方面存在“加速形成結晶及控制結晶配向”和“由于膜的厚度較厚而需要高速成膜”的課題。封裝方面，需要確保在數μm的薄膜上充分控制水蒸氣透過量的性能。 

　　此次，愛發科攻克了這些課題，將其全部作為量產技術進行開發。另外，試制了薄膜鋰充電電池。該公司還計劃在SEMICON JAPAN 2008上，展示根據此次的一條龍量產技術生產的薄膜鋰充電電池單元（韓國Nuricell生產）。愛發科透露，Nuricell已開始樣品供貨。（記者：田中 直樹）